薄膜电晶体制造方法、液晶显示装置制造方法、电极形成方法

摘要

防止电极由基板或矽层剥离。在将以铜为主成分的第一铜薄膜（13）曝露在氨气而进行表面处理之后，在配置有处理对象物（10）的环境，发生含有矽烷气体与氨气的原料气体的电浆，而在第一铜薄膜（13）的表面形成氮化矽膜。利用氨气预先进行表面处理，藉此防止矽烷气体在第一铜薄膜（13）扩散，因此由经表面处理的第一铜薄膜（13）所构成的电极并不会由玻璃基板（11）或矽层剥离，而且电阻值亦不会变高。