| 发明名称 | 用于光致抗蚀剂组合物的碱溶性聚合物 | ||
| 摘要 | 描述了包含至少一个磺酰基的碱溶性聚合物，其中在相对于该磺酰基的α-位和/或β-位和/或γ-位的至少一个碳原子具有羟基，其中该羟基是受保护或未受保护的。 | ||
| 申请公布号 | CN101400723A | 申请公布日期 | 2009.04.01 |
| 申请号 | CN200780008643.9 | 申请日期 | 2007.03.06 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | D·阿布达拉;F·霍利亨 |
| 分类号 | C08G75/20(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C08G75/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杨立芳 |
| 主权项 | 1. 包含至少一个磺酰基的碱溶性聚合物，其中在相对于该磺酰基的α-位和/或β-位和/或γ-位的至少一个碳原子具有羟基，其中该羟基是受保护或未受保护的。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||