发明名称 | 薄膜晶体管及其制造方法 | ||
摘要 | 一种薄膜晶体管包括:基板上的硅纳米线,硅纳米线具有中间部分和中间部分的两侧部分;位于中间部分上的栅极;以及在两侧部分上的源极和与源极分隔开的漏极,其中源极和漏极分别电连接到硅纳米线。 | ||
申请公布号 | CN100472813C | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
申请号 | CN200610073140.7 | 申请日期 | 2006.04.06 |
申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 蔡基成;朴美暻 |
分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L27/00(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;祁建国 |
主权项 | 1、一种薄膜晶体管,包括:位于基板上的硅纳米线,其中所述硅纳米线具有中间部分和中间部分的各侧部分;位于所述硅纳米线的中间部分以及所述基板上的固定层;位于所述固定层上的栅极;以及位于各侧部分上的源极和与所述源极分隔开的漏极,其中所述源极和漏极电连接到所述硅纳米线。 | ||
地址 | 韩国首尔 |