一种举升装置

摘要

本发明提供了一种用于在半导体加工/处理过程中携带半导体器件运动的举升装置，包括压力缸、动力传递部分和托举部分。其中，压力缸连接动力传递部分，用于向动力传递部分输出运动机械能；动力传递部分设置在压力缸和托举部分之间，用于将来自压力缸的运动机械能传递到托举部分；托举部分在来自动力传递部分的运动机械能的作用下携带半导体器件运动。该举升装置还包括水平调节部分，该水平调节部分设置在托举部分和动力传递部分之间，或者设置在动力传递部分和压力缸之间，用于调节托举部分顶部的水平状态。本发明提供的举升装置不仅便于进行水平调节，而且调节精度较高，能够使所携带的晶片等半导体器件在离座或入座等运动过程中保持水平。

主权项

1. 一种举升装置，用于在半导体加工/处理过程中携带半导体器件运动，其包括压力缸、动力传递部分和托举部分，其中所述压力缸连接所述动力传递部分，用于向所述动力传递部分输出运动机械能；所述动力传递部分设置在所述压力缸和托举部分之间，用于将来自所述压力缸的运动机械能传递到所述托举部分；所述托举部分在来自所述动力传递部分的运动机械能的作用下携带半导体器件运动，其特征在于，所述举升装置还包括水平调节部分，所述水平调节部分设置在所述托举部分和动力传递部分之间，或者设置在所述动力传递部分和压力缸之间，用于调节所述托举部分顶部的水平状态。