电连接结构的制造方法

摘要

一种电连接结构的制造方法。此方法包括在基底的第一导电层上形成介电层，再图案化此介电层，以形成裸露出第一导电层的开口。接着，进行含氟电浆清洁步骤，以处理介电层以及开口所裸露的第一导电层之表面。之后，进行至少一次的低温回火步骤。其后，进行氩电浆清洁步骤，以处理上述表面。其后，于开口中形成第二导电层。