| 发明名称 | 主动减振隔振装置及主动减振隔振系统 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种主动减振隔振装置和由该主动减振隔振装置组成的减振隔振系统。本发明所揭露的主动减振隔振装置包括：具有密封活塞的气腔；倒立摆，其一端与所述活塞固定连接；承载部件，其与所述倒立摆的另一端固定连接；垂向直线执行器设置于所述承载部件和气腔之间，且与所述承载部件和气腔外壳连接，以对所述承载部件施加主动力；水平向直线执行器设置于所述承载部件和气腔之间，且与所述承载部件和气腔外壳连接，以对所述承载部件施加主动力。 | ||
| 申请公布号 | CN101382178A | 申请公布日期 | 2009.03.11 |
| 申请号 | CN200810201311.9 | 申请日期 | 2008.10.16 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 刘赟;严天宏;袁志扬 |
| 分类号 | F16F15/02(2006.01)I;F16F7/10(2006.01)I | 主分类号 | F16F15/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1、一种主动减振隔振装置，其特征在于，包括:具有密封活塞的气腔；倒立摆，其一端与所述活塞固定连接；承载部件，其与所述倒立摆的另一端固定连接；垂向直线执行器设置於所述承载部件和气腔之间，且与所述承载部件和气腔外壳连接，以对所述承载部件施加主动力；水平向直线执行器设置於所述承载部件和气腔之间，且与所述承载部件和气腔外壳连接，以对所述承载部件施加主动力。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||