压电元件及使用该压电元件的液滴喷出头、以及压电元件的制造方法

摘要

本发明提供一种压电特性高，并且耐久性高的压电元件。其中，具有通过被施加电压的变化而伸缩的压电体膜；被配置在压电体膜的一个面上的第1电极；和被配置在与压电体膜的第1电极所被配置的面相反侧的面上的第2电极。压电体膜的主成分，是通过气相成长法在第2电极上形成的Pb_xB_yO_z，将从与上述第2电极的接触面起，在上述第1电极的方向上距离100nm的部分的x/y，设成0.8以上、1.6以下，B是由以下的至少一个构成：Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe及Ni，并且，设0＜x≤1，0＜y≤1，2.5＜z≤3。

主权项

1. 一种压电元件，其特征在于，具有：通过被施加的电压的变化而伸缩的压电体膜；被配置在上述压电体膜的一个面上，用于对上述压电体膜施加上述电压的第1电极；和，被配置在上述压电体膜的与上述第1电极所被配置的面相反侧的面上，并对上述压电体膜施加上述电压的第2电极，上述压电体膜，以通过气相成长法在上述第2电极上形成的PbxByOz为主成分，将从与上述第2电极的接触面起，在上述第1电极的方向上距离100nm的、上述压电体膜的部分的x/y，设为0.8以上、1.6以下，B位元素，用以下的至少一个构成：Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe以及Ni，并且，0