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经营范围
发明名称
入口锁合系统,网状物处理设备及其使用方法
摘要
本发明系提供一种用以将膜状材料从膜状材料供应部供给至膜状材料处理设备的入口锁合系统,该入口锁合系统包含具有入口埠与出口埠的第一腔室;具有入口埠的第二腔室;位于第一腔室之入口埠处的第一密封件;位于第一腔室与第二腔室间的第二密封件;位在第一腔室中的第一膜状材料收存单元;以及位在该第二腔室中的第二膜状材料收存单元。
申请公布号
TW200906700
申请公布日期
2009.02.16
申请号
TW097104031
申请日期
2008.02.01
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
索尔彼得;贺恩史蒂芬
分类号
B65H20/02(2006.01);B65H19/14(2006.01)
主分类号
B65H20/02(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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