发明名称 CHEMICAL PRE-TREATMENT OF SUBSTRATE FOR GROWING HIGH QUALITY THIN FILMS, AND FORMATION OF THERMOELECTRIC THIN FILMS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100883332(B1) 申请公布日期 2009.02.11
申请号 KR20070050002 申请日期 2007.05.23
申请人 发明人
分类号 B05D1/18;H01L21/20 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
主权项
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