光学读出红外传感器

摘要

本发明是一种光学读出红外传感器，包括固定在支撑梁上的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和吸热反光板，热变形机构形成折转式分布；其特征在于：热变形机构为两层，由上层和下层连续回折构成；上层的初级与吸热反光板连接、下层的末级与支撑梁连接；上层为热变形梁、下层为热隔离梁，或者上层为热变形梁，下层的末级为热隔离梁、其余为热传导梁；热变形梁和热传导梁、热隔离梁间隔连接；上层和下层微梁还可以错位。本发明克服了现有技术中感热像素的平面尺寸有限而吸热板和热变形机构又希望尽可能大的矛盾，使微梁单元的温升和单位温升的热变形量、感热单元的占空比、红外线的吸收效率等进一步提高，从而提高其红外探测灵敏度。

主权项

1、一种光学读出红外传感器，包括固定在支撑梁上的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和吸热反光板，热变形机构与支撑梁连接，热变形机构为两组且对称连接于吸热反光板的两侧，热变形机构由热隔离梁和热变形梁构成折转式分布；其特征在于：热变形机构为两层，由上层和下层连续回折构成，上层的初级与吸热反光板连接、下层的末级与支撑梁连接；上层为热变形梁、下层为热隔离梁，热变形梁和热隔离梁间隔连接。