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发明名称 SURFACE TRIANGULATION AND PROFILING
摘要
申请公布号 EP1664931(B1) 申请公布日期 2009.01.21
申请号 EP20040784044 申请日期 2004.09.15
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 DE LEGA, XAVIER, COLONNA;DE GROOT, PETER, J.;KUCHEL, MICHAEL
分类号 G03F7/20;G01B9/02;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/06;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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