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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100879325(B1)
申请公布日期
2009.01.19
申请号
KR20020012872
申请日期
2002.03.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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