用于透射图像感应的装置和方法

摘要

一种用于透射图像感应的装置和方法，所述装置用于感应光刻曝光设备中的空间图像，所述装置包括：投影系统，所述投影系统设置用于在投影系统的图像侧形成物体标记的空间图像，所述装置还包括检测器，所述检测器包括狭缝图案，所述狭缝图案具有设置成与空间图像的至少一部分相对应的特征，所述狭缝图案设置成暴露给空间图像。所述检测器还被设置成检测从狭缝图案透射的检测辐射；其中d＜0.85·(λ/NA)，其中d表示所述狭缝图案的最小特征的尺寸，λ表示检测辐射的预定波长，以及NA表示图像侧的数值孔径，所述NA大于1。

主权项

1.一种用于透射图像感应的装置(TIS，TIS1，TIS2)，所述装置用于感应光刻曝光设备中的空间图像，所述装置包括：投影系统(PS，1)，所述投影系统设置用于在投影系统的图像侧形成物体标记(M1，M2，G0)的空间图像，所述图像侧具有大于1的数值孔径；以及检测器，所述检测器包括狭缝图案(G1)，所述狭缝图案具有设置成与空间图像的至少一部分相对应的特征(D)，所述狭缝图案设置成暴露给空间图像，所述检测器还被设置成检测从狭缝图案透射的检测辐射(PB)；其中$d<0.85·\frac{\lambda }{\mathrm{NA}},其中d表示所述狭缝图案的最小特征的尺寸，\lambda 表示检测辐射的波长，以及NA表示图像侧的数值孔径。$