| 发明名称 | 显示装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种直接接触技术，由于不仅可降低Al合金膜和透明像素电极之间的接触电阻而且耐热性也优良，因而可使Al合金膜与透明像素电极直接接触，而且既可进一步降低Al合金的电阻又可进一步提高生产效率。显示装置的制造方法中在基板上具备有氧化物透明导电膜和Al合金膜直接接触的构造，其中Al合金膜含有选自Ag、Zn、Cu及Ni群的至少一种合金元素为0.5原子％以下，并将基板的温度控制在合金元素的析出温度以上进行Al合金膜的形成。 | ||
| 申请公布号 | CN101335202A | 申请公布日期 | 2008.12.31 |
| 申请号 | CN200810099592.1 | 申请日期 | 2008.05.15 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 后藤裕史 |
| 分类号 | H01L21/28(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L23/532(2006.01);H01L29/43(2006.01);H01L27/12(2006.01);G02F1/1362(2006.01);G02F1/1343(2006.01);H01B13/00(2006.01);H01B5/14(2006.01) | 主分类号 | H01L21/28(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1、一种显示装置的制造方法，该显示装置具备在基板上氧化物透明导电膜和Al合金膜直接接触的构造，该显示装置的制造方法的特征在于，所述Al合金膜含有0.5原子％以下的从Ag、Zn、Cu及Ni中选出的至少一种合金元素，将所述基板的温度控制在所述合金元素的析出温度以上来形成Al合金膜。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||