| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER PHOTOLACKMASKE AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2459156(A1) |
申请公布日期 |
1975.11.06 |
| 申请号 |
DE19742459156 |
申请日期 |
1974.12.14 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
A. CORTELLINO,CHARLES |
| 分类号 |
G03F7/30;G03F7/039;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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