| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR SILICON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5590407(A) |
申请公布日期 |
1980.07.09 |
| 申请号 |
JP19780158707 |
申请日期 |
1978.12.25 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
YAMAZAKI TAKASHI;SHIBAGAKI MASAHIRO |
| 分类号 |
C30B25/02;C01B21/068;C23C16/34;C30B25/00;C30B29/38;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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