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发明名称 DEVICE FOR STABILIZING AN ILLUMINATED MASK
摘要
申请公布号 EP0325575(A3) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 EP19890890016 申请日期 1989.01.23
申请人 IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H.;OSTERREICHISCHE INVESTITIONSKREDIT AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GLAVISH, HILTON F., DR.;LOSCHNER, HANS, DR.;STENGL, GERHARD, DR.;CHALUPKA, ALFRED, DR.
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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