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发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03232959(A) 申请公布日期 1991.10.16
申请号 JP19900030042 申请日期 1990.02.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAJIWARA TOSHIRO;KOBAYASHI GOROKU;SANO KO;YANO YOUJIROU;URAKABE TAKAHIRO;FUKUYAMA KEIJI
分类号 C23C14/06;C23C14/35;C23C14/40;H01J9/02;H01J9/04 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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