| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING THIN FILM OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0474792(A) |
申请公布日期 |
1992.03.10 |
| 申请号 |
JP19900152180 |
申请日期 |
1990.06.11 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMADA TAKESHI;SUGIURA HIDEO;IGA RYUZO |
| 分类号 |
C30B23/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/268;H01S3/00 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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