减压处理室内的构件清净化方法及基板处理装置

摘要

本发明的课题是针对于从减压处理室内的构件表面飞散微粒子来进行构件的清净化。本发明用以解决手段是：为了飞散减压处理内的构件的微粒子来清净化构件，使用(1)在构件施加电压并利用麦克斯韦的应力来飞散微粒子的手段，(2)使得微粒子带电并利用库伦力使之飞散的手段，(3)在减压处理室导入气体，并在附着微粒子的构件到达气体冲击波，飞散微粒子的手段，(4)上昇构件的温度，藉由热应力及热徙动力，飞散微粒子的手段，或是，(5)在构材赋予机械式振动，飞散微粒子的手段。又，将所飞散的微粒子以较高压气氛加入气体流加以除去。