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发明名称 PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04180642(A) 申请公布日期 1992.06.26
申请号 JP19900309733 申请日期 1990.11.15
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ABE NOBUAKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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