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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPH05217873(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920046075 申请日期 1992.01.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIOZAWA KENJI
分类号 H01L21/02;H01L21/027;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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