静电驱动器以及其驱动方法

摘要

本发明提供一种可减少提供驱动电压的系统数并可通过简单结构进行驱动的静电驱动器以及其驱动方法。上述定子电极(23)具有沿着上述移动方向按一定顺序重复配置的多个电气系统(A、B、C相电极)，使形成同种电气系统的定子电极(23)之间的移动方向的间距尺寸(周期长)(3P1)与上述移动方向的动子电极(33)的移动方向的间距尺寸(c)相一致，而且上述动子至少具有长度尺寸不同的两种以上的动子电极(33a1、33b1)。

主权项

1.一种静电驱动器，其特征在于，具备排列有多个定子电极的定子、具有多个动子电极并且以与上述定子相对面而置的姿势在上述移动方向移动的动子、向上述定子电极施加预定驱动电压的供电部及控制上述供电部的控制部，而且，上述定子电极具有沿着上述移动方向按预定顺序重复配置的多个电气系统，使形成同种电气系统的定子电极间的移动方向的间距尺寸即周期长与上述动子电极间的移动方向的间距尺寸相一致，并且上述动子至少具有移动方向的长度尺寸不同的、两种以上的动子电极。