一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备

摘要

本实用新型公开了一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，涉及激光切割技术领域。所述刻划设备包括X轴运动系统、X轴基座、Y轴运动系统、Y轴基座、工装、立柱和光路系统，工装安装在Y轴运动系统上，Y轴运动系统安装在Y轴基座上，光路系统安装在X轴运动系统上，X轴运动系统安装在X轴机座上，X轴机座通过安装于Y轴机座的立柱横跨安装于Y轴机座上方，还包括左CCD定位系统、右CCD定位系统、左切割头和右切割头，左CCD定位系统和右CCD定位系统以一间距平行固定在X轴基座上，左切割头和右切割头都位于工装上方且都平行安装在X轴运动系统上。本实用新型能够满足工艺要求且刻划精度高，提高了产品的稳定性，节约了成本。

主权项

1.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，包括X轴运动系统、X轴基座、Y轴运动系统、Y轴基座、工装、立柱和光路系统，工装安装在Y轴运动系统上，Y轴运动系统安装在Y轴基座上，光路系统安装在X轴运动系统上，X轴运动系统安装在X轴机座上，X轴机座通过安装于Y轴机座的立柱横跨安装于Y轴机座上方，其特征在于：还包括左CCD定位系统、右CCD定位系统、左切割头和右切割头，左CCD定位系统和右CCD定位系统以一间距平行固定在X轴基座上，左切割头和右切割头都位于工装上方且都平行安装在X轴运动系统上。