单晶钻石膜之制造方法

摘要

一种单晶钻石膜之制造方法,首先系提供复数个单晶钻石,并排列形成单晶钻石阵列,接着于单晶钻石阵列上沉积形成一单晶钻石膜,其中可于单晶钻石阵列形成后进行一离子植入处理,或是于沉积形成单晶钻石膜后,对单晶钻石膜进行离子植入处理,以破坏单晶钻石阵列及单晶钻石膜表面之原子层,最后对具有单晶钻石膜之单晶钻石阵列进行热处理,以使单晶钻石膜脱离于单晶钻石阵列。