离子源

摘要

本发明涉及一种离子源。该离子源包括一个本体,该本体包括一放电室;一阳极,其设置于该放电室内,该本体的顶部设置一开口,于该本体的顶部与该开口相邻处设置有阴极电极,该阴极电极与该阳极相对设置,该离子源还包括复数夹持臂,每个夹持臂包括夹持部及与夹持部相连之绝缘部,该夹持部之另一端夹持有阴极灯丝,该绝缘部之另一端与该本体枢轴连接,藉由转动该夹持臂可使其夹持部与该阴极电极形成电连接并使其阴极灯丝位于所述开口位置以与该阳极形成电气回路。