| 发明名称 |
VERFAHREN UND GERÄT ZUR PLASMADOTIERUNG DURCH PULSIEREN DER ANODE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60209532(D1) |
申请公布日期 |
2006.04.27 |
| 申请号 |
DE20026009532 |
申请日期 |
2002.10.25 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC., GLOUCESTER |
发明人 |
WALTHER, R.;PEDERSEN, O. |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/24;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
