选择性雷射结晶之方法及其制造之显示面板

摘要

一种显示面板，包括：一基板，具有一主动式发光显示区域(Displaying Region)和一驱动电路区域(Circuit DrivingRegion)；以及一多晶矽层，形成于基板上，且多晶矽层具有一第一多晶矽层及一第二多晶矽层分别与主动式发光显示区域及驱动电路区域对应，第二多晶矽层之晶粒大小系大于第一多晶矽层之晶粒大小。其中，第二多晶矽层系使用一连续波雷射退火(Continuous Wave LaserAnnealing)方式而形成，第一多晶矽层主动式发光显示区域则可使用准分子雷射退火(Excimer Laser Annealing，ELA)方式而形成。