含液或固微粒制程尾气之废气处理装置

摘要

本发明系有关于一种收集微粒之旋风器，包括：一具有一入口以及一出口之舱体、一旋风机构、一具有一前端通道口及一后端通道口之排气弯管、以及一微粒收集室；其中旋风机构位于舱体内，且介于入口与出口之间；排气弯管设置于舱体之出口，且排气弯管之前端通道口及后端通道口分别位于舱体之内侧及外侧；微粒收集室位于舱体内，且位于该旋风机构之下方处，并收集一气流中之微粒；本发明更包含一种含旋风器之废气处理装置以及废气处理系统，其更包括一液体提供单元，以处理气状污染物，解决微粒排放的问题。