Method to protect internal components of semiconductor processing equipment,申请号EP20050017851-传众专利搜索

发明名称	Method to protect internal components of semiconductor processing equipment
摘要
申请公布号	EP1637626(B1)	申请公布日期	2008.12.17
申请号	EP20050017851	申请日期	2005.08.17
申请人	AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.	发明人	JI, BING;MOTIKA, STEPHEN ANDREW;WU, DINGJUN;KARWACKI, EUGENE JOSEPH, JR.;ROBERTS, DAVID ALLEN
分类号	C23C16/44	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利