| 发明名称 | 形成堆叠式电容之下电极板的方法 | ||
| 摘要 | 在此揭示一种形成堆叠式电容之下电极板的方法。此方法包含下列步骤：提供一基材，此基材具有一堆叠层形成于一基板上且该堆叠层定义一开口；共形地形成一未掺杂导电层以覆盖开口及基板之表面；以及以一倾斜角植入掺杂离子至未掺杂导电层，以形成下电极板于开口内。 | ||
| 申请公布号 | TW200849396 | 申请公布日期 | 2008.12.16 |
| 申请号 | TW096120485 | 申请日期 | 2007.06.07 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 张嘉雯;杨建荣;陈品杉 |
| 分类号 | H01L21/3205(2006.01);H01L21/316(2006.01);H01L21/318(2006.01) | 主分类号 | H01L21/3205(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 蔡玉玲 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 | ||