内建加热器的阀

摘要

提供一种在超过200℃之高温条件下亦可使用之内建加热器的阀。活塞驱动机构7具有：上侧压缩空气导入室24，其用以使活塞6朝下方移动；及下侧压缩空气导入室25，系用以使活塞6朝上方移动。活塞密封机构8具有：上侧波纹管29，系用以密封上侧压缩空气导入室24；及下侧波纹管30，系用以密封下侧压缩空气导入室25。