于半导体基板制程中之逻辑批次的使用

摘要

于部份实施例中，系提供一种处理基板的方法，其包含：(1)将数个基板载具中的基板归类为一逻辑批次；(2)将该些基板视为如收存于一单一基板载具中来处理该逻辑批次；以及(3)在该逻辑批次中的基板之一代表性子集上进行量测。本发明亦提供多种其他态样。