基板蚀刻装置

摘要

本案揭示一种基板蚀刻装置，其可藉由倾倒蚀刻溶液于垂直站立基板的两表面上以蚀刻该基板。基板蚀刻装置包含一基板垂直承载座，系用于保持基板垂直站立；以及一蚀刻溶液喷布器，系喷布一蚀刻溶液于该垂直站立基板的上端，俾向下流在该基板的表面上。