Verfahren und System zum Entfernen leerer Trägerbehälter von Prozessanlagen durch Steuern einer Zuordnung zwischen Steuerungsaufgaben und Trägerbehälter

摘要

Durch Bereitstellen einer minderspezifizierten Spezifikation zum Bezeichnen eines Zielbehälters in einer entsprechenden Steuerungsaufgabe oder Steuerungsnachricht kann ein hohes Maß an Flexibilität beim Bestimmen des Ziels von bearbeiteten Substraten erreicht werden, wodurch auch das Entfernen eines Quellenbehälters ermöglicht wird, um damit die Verfügbarkeit von Ladestationen in komplexen Halbleiterfertigungsstätten zu verbessern.