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经营范围
发明名称
METHODS AND APPARATUS FOR PRESSURE CONTROL IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS
摘要
申请公布号
EP1994456(A2)
申请公布日期
2008.11.26
申请号
EP20070753047
申请日期
2007.03.14
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
CURRY, MARK, W.;RAOUX, SEBASTIEN;PORSHNEV, PETER
分类号
G05D16/00
主分类号
G05D16/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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