用于测试操作器之测试盘转移装置、测试操作器以及转移用于测试操作器之测试盘的方法

摘要

本发明揭露一种测试操作器，其中各欲沿着一循环路径转移之前与后测试盘之第一与第二夹持块一起朝一循环方向移动，但朝一垂直于该循环路径之方向独立地移动并且独立地夹持与释放。该等测试盘可以利用单一动力源来转移，且可将在协助测试与转移之间的干涉减至最少。