排气装置、包含该排气装置的基板处理装置以及排气方法

摘要

本发明提供一种排气装置、包含该排气装置的基板处理装置以及排气方法。处理腔室内的气体以及反应副产物通过排气管排出。排气管上连结着排气埠，反应副产物通过该排气埠而被捕集。排气埠包括捕集筒以及缔结构件，其中，上述捕集筒连结于在排气管的侧壁上所形成的排出口，且储存所捕集的反应副产物，上述缔结构件将捕集筒连结于排气管上。上述排气管包括第1与第2排气管以及连结管，该连结管上形成一排出口以及一引导面。