发明名称 NEUARTIGES RESISTMATERIAL UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER STRUKTURIERTEN RESISTSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE602005010099(D1) 申请公布日期 2008.11.13
申请号 DE20056010099T 申请日期 2005.09.19
申请人 THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM, EDGBASTON 发明人 PALMER, RICHARD EDWARD;ROBINSON, ALEX;PREECE, JON ANDREW
分类号 G03F7/038 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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