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发明名称
NEUARTIGES RESISTMATERIAL UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER STRUKTURIERTEN RESISTSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号
DE602005010099(D1)
申请公布日期
2008.11.13
申请号
DE20056010099T
申请日期
2005.09.19
申请人
THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM, EDGBASTON
发明人
PALMER, RICHARD EDWARD;ROBINSON, ALEX;PREECE, JON ANDREW
分类号
G03F7/038
主分类号
G03F7/038
代理机构
代理人
主权项
地址
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