| 发明名称 | 绝缘导热金属基材的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种绝缘导热金属基材的制造方法，包括如下步骤：(1)提供一基材并将该金属基材置于等离子反应室中；(2)将混有高侵蚀性气体的气体混合物通入该等离子反应室中，对该金属基材的表面做不规则性的侵蚀以形成纳米级表面粗糙度；(3)于该等离子反应室中等离子化学气相沉积，产生自由基等离子，并在该金属基材的表面形成多层高导热涂层；(4)涂布一层高导热绝缘胶。本发明可对任何表面状态的任何金属基板进行均匀镀膜，且实现热传导性能的数量化控制。 | ||
| 申请公布号 | CN101298676A | 申请公布日期 | 2008.11.05 |
| 申请号 | CN200710022125.4 | 申请日期 | 2007.04.30 |
| 申请人 | 汉达精密电子（昆山）有限公司 | 发明人 | 吴政道;胡振宇;郭雪梅 |
| 分类号 | C23C28/00(2006.01);C23C16/513(2006.01);C23C16/02(2006.01);C23F4/00(2006.01);C23C16/448(2006.01) | 主分类号 | C23C28/00(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种绝缘导热金属基材的制造方法，其特征在于该方法包括下列步骤：(1)提供一基材并将该金属基材置于等离子反应室中；(2)将混有高侵蚀性气体的气体混合物通入该等离子反应室中，对该金属基材的表面做不规则性的侵蚀以形成纳米级表面粗糙度；(3)于该等离子反应室中等离子化学气相沉积，产生自由基等离子，并在该金属基材的表面形成多层高导热涂层；(4)涂布一层高导热绝缘胶。 | ||
| 地址 | 215300江苏省昆山市出口加工区 | ||