Integriertes optisches Bauteil mit Zonenplatten-Beugungsoptik

摘要

Ein integriertes Bauteil mit einer Filterstruktur aus einer ersten strukturierten Metallschicht mit ener Zonenplattenstruktur mit einem Feldkonzentrationsbereich und einem opto-elektronischen Bauelement, wobei dei Filterstruktur und das opto-elektronische Bauelement derart in einem Halbleitersubstrat integriert sind, so dass das opto-elektronische Bauelement in dem Feldkonzentrationsbereich der Filterstruktur angeordnet ist.