由电效应控制电活性材料厚度变化实现局部变形的反射镜

摘要

用于补偿几何像差的可变形反射镜，包括：电绝缘基片；第一镜台，包括置于所述基片前表面上面的选定位置上的至少两个平面电极；电活性材料的第一层，其与所述第一镜台的电极的前表面相接触地放置，并适于在选定的局部电位差的作用下发生局部变形；导电反射层，其形成连接到电接地端的接地电极，并且所述导电反射层位于所述第一电活性层的前表面的上面；第一供电电路，每个第一供电电路与所述电接地端以及所述第一镜台的至少一个电极相连，以便根据命令局部地施加选定的电位差，该电位差适于对基本上与所述电极对应的第一电活性层的一个区域进行局部变形；至少一个第二镜台；至少一个导电插入层；电活性材料的至少一个第二层；以及第二供电电路。

主权项

1.一种用于补偿几何像差的可变形反射镜，包括：电绝缘基片，具有基本上为平面的前表面；第一镜台，包括置于所述基片前表面上面的选定位置上的至少两个平面电极；电活性材料的第一层，其与所述第一镜台的电极的前表面相接触地放置，并适于在选定的局部电位差的作用下发生局部变形；导电反射层，其形成连接到电接地端的接地电极，并且所述导电反射层位于所述第一电活性层的前表面的上面；第一供电电路，每个第一供电电路一方面与所述电接地端相连，另一方面与所述第一镜台的至少一个电极相连，以便根据命令局部地施加选定的电位差，该电位差适于对基本上与所述电极对应的第一电活性层的一个区域进行局部变形；至少一个第二镜台，包括插在所述基片前表面和所述第一镜台后表面之间的至少两个平面电极；至少一个导电插入层，其形成连接到所述电接地端的接地电极，并插在所述第一镜台的后表面和所述第二镜台的后表面之间；电活性材料的至少一个第二层，其插在所述第二镜台的电极的前表面和所述导电插入层的后表面之间，并适于在选定的电位差作用下发生局部变形；以及第二供电电路，每个第二供电电路一方面连接到所述电接地端，另一方面连接到所述第二镜台的至少一个电极，以便根据命令局部地施加选定的电位差，所述电位差适于对基本上与所述电极对应的第二电活性层的一个区域进行局部变形。