发明名称 METHOD FOR OXIDE DIELECTRIC LAYER FORMATION, AND CAPACITOR LAYER FORMING MATERIAL COMPRISING OXIDE DIELECTRIC LAYER FORMED BY SAID FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100861959(B1) 申请公布日期 2008.10.09
申请号 KR20077021615 申请日期 2007.09.20
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01G13/00 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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