注入锁定式雷射，干涉仪，曝光设备以及装置制造方法

摘要

本发明提供一种一种注入锁定式雷射，其包含：种子雷射；振荡器，自该种子雷射输出之光的某一分量注入该振荡器作为种子雷射光；频率转换器，其使自该种子雷射输出之该光的另一分量的频率移位；光检器，其检测藉由合成自该振荡器输出之光及自该频率转换器输出之光所获得的光；及控制器，其基于含于自该光检器输出的信号之差拍信号分量来控制该振荡器的光学路径长度。