| 发明名称 | 用于半导体专用设备的机械手翻转装置 | ||
| 摘要 | 一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置，翻转输出座的表面上开有真空吸附接口，翻转输出座内有与真空吸附接口连通的密闭腔室；翻转轴的后端固定连接一个与吸附驱动气源连接的旋转接头，翻转轴沿轴心开有气道，气道的前端与翻转输出座的密闭腔室连通，气道的后端与旋转接头的气道连通；翻转轴是一个自前至后直径渐小的阶梯轴，翻转轴最前端的台阶上套有轴承，由轴承压盖和螺钉将翻转轴与轴座固定，轴座固定在基座上，在翻转轴上位于轴承后一台阶套有轴承锁母，在翻转轴上位于轴承锁母后的台阶上固定有翻转齿轮，翻转齿轮与主动齿轮传动连接，主动齿轮与翻转气缸的输出轴连接。具有体积小、重量轻、结构简单、使用寿命长，成本低廉的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN201126814Y | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN200720201764.2 | 申请日期 | 2007.12.25 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 发明人 | 张玮琪;张志军 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/683(2006.01);B65G47/248(2006.01);B65G47/91(2006.01);B65G49/07(2006.01);B25J13/00(2006.01);B25J15/06(2006.01) | 主分类号 | H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中建联合知识产权代理事务所 | 代理人 | 朱丽岩 |
| 主权项 | 1. 一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置，包括与翻转气缸(11)相连的翻转轴(2)和固定在翻转轴前端的翻转输出座(1)，其特征在于：翻转输出座(1)的表面上开有真空吸附接口(14)，翻转输出座(1)内有与真空吸附接口(14)连通的密闭腔室(15)；翻转轴(2)的后端固定连接一个与吸附驱动气源连接的旋转接头(8)，翻转轴(2)沿轴心开有气道(16)，气道(16)的前端与翻转输出座的密闭腔室(15)连通，气道(16)的后端与旋转接头(8)的气道连通；翻转轴(2)是一个自前至后直径渐小的阶梯轴，翻转轴(2)最前端的台阶上套有轴承(6)，由轴承压盖(4)和螺钉(13)将翻转轴(2)与轴座(3)固定在一起，轴座(3)固定在基座(12)上，在翻转轴(2)上位于轴承(6)后一台阶套有轴承锁母(7)，在翻转轴(2)上位于轴承锁母(7)后的台阶上固定套有翻转齿轮(5)，翻转齿轮(5)与旁侧的主动齿轮(10)传动连接，主动齿轮(10)与翻转气缸(11)的输出轴连接。 | ||
| 地址 | 065201河北省三河市燕郊开发区海油大街20号 | ||