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发明名称
摘要
申请公布号 JP4154928(B2) 申请公布日期 2008.09.24
申请号 JP20020159096 申请日期 2002.05.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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