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发明名称 Deposited-film forming process and deposited-film forming apparatus
摘要
申请公布号 EP0782176(B1) 申请公布日期 2008.09.24
申请号 EP19960120617 申请日期 1996.12.20
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MORIYAMA, KOICHIRO;ECHIZEN, HIROSHI;KANAI, MASAHIRO;OHTOSHI, HIROKAZU;YOSHINO, TAKEHITO;YASUNO, ATSUSHI;YOSHIDA, KOHEI;MIYAMOTO, YUSUKE
分类号 C23C16/44;H01L21/00;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01L21/205;H01L31/04 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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