发明名称 |
静电放电保护装置及其制造方法 |
摘要 |
一种静电放电保护装置及其制造方法。此静电放电保护装置包括衬底、N型阱、P型掺杂区、第一与第二N+型掺杂区、第一与第二P+型掺杂区、栅极、第一与第二电极。N型阱配置于衬底中。P型掺杂区配置于N型阱中。第一N+型掺杂区与第一P+型掺杂区均配置于P型掺杂区中。第二N+型掺杂区与第二P+型掺杂区均配置于N型阱中以及P型掺杂区外,且与P型掺杂区不相接触。栅极配置于N型阱上以及于第二P+型掺杂区与P型掺杂区之间。第一电极电连接第一N+型掺杂区与第一P+型掺杂区。第二电极电连接第二N+型掺杂区、第二P+型掺杂区与栅极。 |
申请公布号 |
CN101271891A |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
申请号 |
CN200710091831.4 |
申请日期 |
2007.03.23 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
赖泰翔;张玮仁;柯明道;唐天浩 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01);H01L27/04(2006.01);H01L23/60(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
蒲迈文;黄小临 |
主权项 |
1. 一种静电放电保护装置,包括:一衬底;一N型阱,配置于该衬底中;一P型掺杂区,配置于该N型阱中;一第一N+型掺杂区,配置于该P型掺杂区中;一第一P+型掺杂区,配置于该P型掺杂区中;一第二P+型掺杂区,配置于该N型阱中以及该P型掺杂区外,其中该第二P+型掺杂区与该P型掺杂区不相接触;一栅极,其配置于该N型阱上以及于该第二P+型掺杂区与该P型掺杂区之间;一第一电极,其经由一第一电性导体连接该第一N+型掺杂区与该第一P+型掺杂区;以及一第二电极,其经由一第二电性导体连接该第二P+型掺杂区与该栅极。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |