发明名称 静电放电保护装置及其制造方法
摘要 一种静电放电保护装置及其制造方法。此静电放电保护装置包括衬底、N型阱、P型掺杂区、第一与第二N+型掺杂区、第一与第二P+型掺杂区、栅极、第一与第二电极。N型阱配置于衬底中。P型掺杂区配置于N型阱中。第一N+型掺杂区与第一P+型掺杂区均配置于P型掺杂区中。第二N+型掺杂区与第二P+型掺杂区均配置于N型阱中以及P型掺杂区外,且与P型掺杂区不相接触。栅极配置于N型阱上以及于第二P+型掺杂区与P型掺杂区之间。第一电极电连接第一N+型掺杂区与第一P+型掺杂区。第二电极电连接第二N+型掺杂区、第二P+型掺杂区与栅极。
申请公布号 CN101271891A 申请公布日期 2008.09.24
申请号 CN200710091831.4 申请日期 2007.03.23
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 赖泰翔;张玮仁;柯明道;唐天浩
分类号 H01L27/02(2006.01);H01L27/04(2006.01);H01L23/60(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/02(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 蒲迈文;黄小临
主权项 1. 一种静电放电保护装置,包括:一衬底;一N型阱,配置于该衬底中;一P型掺杂区,配置于该N型阱中;一第一N+型掺杂区,配置于该P型掺杂区中;一第一P+型掺杂区,配置于该P型掺杂区中;一第二P+型掺杂区,配置于该N型阱中以及该P型掺杂区外,其中该第二P+型掺杂区与该P型掺杂区不相接触;一栅极,其配置于该N型阱上以及于该第二P+型掺杂区与该P型掺杂区之间;一第一电极,其经由一第一电性导体连接该第一N+型掺杂区与该第一P+型掺杂区;以及一第二电极,其经由一第二电性导体连接该第二P+型掺杂区与该栅极。
地址 中国台湾新竹科学工业园区