奈米压痕仪之试片载台辅助装置

摘要

本创作设计一奈米压痕仪之试片载台辅助装置，以解决奈米压痕试验时探针和试片的黏滞现象，有效提高实验准确性。当压痕试验进行中，于卸载开始时，试片载台辅助装置的超音波换能器产生高频脉波，驱动压电晶片，产生微小的超音波震动作用于载台，当探针开始卸载并脱离试片表面时，因为有微小的超音波震动而避免黏滞现象的发生，藉以量测精确的卸载曲线，而得到正确的试片弹性系数。另外，本辅助装置安装于载台上，并不影响压痕器力量控制和位移感测装置，任何机型皆可使用，为一有效且实用的创作。