移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、以及元件制造方法

摘要

控制装置使用设于台(WTB)之±X端部之反射面(39Y#sB!1#eB!，39Y#sB!2#eB!)上的2个Z读头(ZsR, ZsL)测量(WTB)之高度与倾斜。依据台(WTB)之XY位置，将所使用之Z读头从ZsR, ZsL切换为ZsR', ZsL(或ZsR, ZsL')。控制装置于切换之进行时，应用座标连接法来设定新使用之Z读头(ZsR'(或ZsL'))之初期值。据此，即使在根据台之XY位置而逐次切换所使用之Z读头，亦能在切换前后保存台之高度与倾斜之测量结果，以高精度驱动台。